7月9日，由中國(guó)粉體網(wǎng)主辦的“2024高端研磨拋光材料技術(shù)大會(huì)”在河南鄭州成功召開。會(huì)議期間，我們邀請(qǐng)到多位專家學(xué)者、企業(yè)家代表做客“對(duì)話”欄目，圍繞高端研磨拋光材料的技術(shù)與應(yīng)用現(xiàn)狀及發(fā)展方向進(jìn)行了訪談交流。本期，我們分享的是河南工業(yè)大學(xué)班新星副教授的專訪。
班教授：主要包括超精密磨削、快速拋光、精密修形等。磨削的作用是快速去除毛坯材料，并使元件達(dá)到一定的形狀要求；快速拋光則是消除由于磨削加工引起的表面和亞表面損傷，同時(shí)進(jìn)一步提升加工精度；精密修形的目的是提升元件的面形精度，以達(dá)到使用的要求。
中國(guó)粉體網(wǎng)：請(qǐng)問班教授，光學(xué)元件超精密加工的難點(diǎn)有哪些？
班教授：光學(xué)元件屬于典型的硬脆難加工材料，加工過程中容易產(chǎn)生表面和亞表面損傷，如何有效控制缺陷的形成和提升加工精度是當(dāng)前的難點(diǎn)。
不同的加工工藝方法對(duì)缺陷和精度的影響是不同的。比如，全口徑拋光的加工效率高，但對(duì)低頻誤差的控制比較困難，而子口徑拋光能夠提升面形精度，但效率較低，并且容易引起中頻誤差。
中國(guó)粉體網(wǎng)：請(qǐng)問班教授，實(shí)現(xiàn)超精拋光的方法主要有哪些？
班教授：超精密拋光方法主要包括：小磨頭數(shù)控拋光、氣囊拋光、離子束拋光、磁流變拋光、等離子體拋光、射流拋光等。盡管這些方法都能夠?qū)崿F(xiàn)光學(xué)元件最終納米級(jí)面形精度的控制。不過，元件尺寸、材質(zhì)、形狀不同，所采用的方法也不一樣。
中國(guó)粉體網(wǎng)：請(qǐng)問班教授，我國(guó)光學(xué)超精密加工技術(shù)與裝備發(fā)展水平如何？
班教授：近年來得到了蓬勃發(fā)展，在天文望遠(yuǎn)系統(tǒng)、強(qiáng)激光裝置等領(lǐng)域的光學(xué)元件制造工藝和裝備實(shí)現(xiàn)了自主可控，但在以光刻物鏡為代表的極端精度光學(xué)元件超精密加工方面與國(guó)外先進(jìn)水平存在較大的差距。
中國(guó)粉體網(wǎng)：請(qǐng)問班教授，您的研究方向主要涉及哪些方面？
班教授：我的研究方向主要涉及面形控制、工藝優(yōu)化、設(shè)備開發(fā)等方面，除了大口徑平面光學(xué)元件之外，目前也在開展第三代半導(dǎo)體晶圓超精密加工方面的研究工作，從軍品到民品輻射，將先進(jìn)的加工技術(shù)不斷推廣到市場(chǎng)上去，實(shí)現(xiàn)工程化應(yīng)用。
